一.產品介紹
真空烤盤爐是與MOCVD設備配套使用的爐體，爐內抽真空，被處理工件放置在爐膛內，采用清洗氣體加熱反應方式進行干式清洗（清洗氣體：N2，H2）。主要用于有效清除MOCVD承受器（SiC涂層石墨盤或石英盤）上的氮化鎵和氮化鋁等，可達到有效清潔處理，提高制品質量的目的。
二、設計特點
1、后門設計熱風電機
2、降溫時風機開啟，同時兩端降溫封頭開啟，爐膛內產生如圖所示的氣體流向
3、通過氣體介質將隔熱層內與水冷壁之間進行熱交換，達到快速降溫的目的
三、技術指標
|
使用溫度
|
1450℃
|
最高溫度
|
1500℃
|
|
絕熱材料
|
石墨纖維毯、石墨紙
|
馬弗材料
|
SUS304
|
|
加熱元件
|
石墨加熱棒
|
冷卻方式
|
氣冷+循環風冷降溫
|
|
控溫穩定度
|
±2℃，具有PID參數自整定功能
|
爐膛溫度均勻度
|
±5℃（恒溫1550℃）
|
|
控溫熱偶
|
Wre5
|
升溫速率
|
15℃/min（空載）
|
|
控溫點數
|
1點
|
降溫速率
|
1450℃至80℃，240分鐘
|
|
監測點數
|
1點
|
極限真空
|
10-3torr級
|
|
氣氛
|
可向爐膛內通入干燥、潔凈、無油的高純度氮氣，純度≧99.999%
|
抽氣速率
|
空載下，30min達到10-2torr
|
|
報警保護
|
超溫、斷偶、停氣等聲光報警保護
|
設備顏色
|
電腦駝灰色
|
|
電源
|
容量大于160KVA，3相5線，220/380VAC，50Hz
|
|
參考型號
|
MOLKP-518（W710×H710×D1000mm）
MOLKP-1000（W1000×H1000×D1000mm）
MOLKP-1200（W1000×H1000×D1200mm）
|
本文學由合肥真萍電子科技有限公司原創，轉載時請注明熱風排膠爐網址：http://www.3010120.com/ |
